Plazminio cheminio garinimo nusodinimo (PECVD) procese kiekviena elektros jungtis, pradedant radijo dažnių (RF) energijos perdavimu ir baigiant proceso dujų valdymu, tiesiogiai veikia plonų sluoksnių nusodinimo tolygumą ir lustų išeigą. Susidūrus su atšiauria miniatiūrinės įrangos, didelio vakuumo ir stiprių elektromagnetinių trukdžių aplinka,WAGO„picoMAX®“ jungtys, pasižyminčios trimis pagrindiniais privalumais – kompaktiškumu, patikimumu ir efektyvumu – tapo idealiu PECVD sistemų jungimo sprendimu.
Novatoriškas kompaktiškas dizainas
Prisitaikymas prie tikslių kamerų išdėstymų
PECVD įrangos vidinė erdvė yra ribota, todėl aplink reakcijos kamerą reikia tankiai išdėstyti maitinimo, signalo ir jutimo linijas. „picoMAX®“ naudoja vienos spyruoklės, dvigubo veikimo konstrukciją su keliais 3,5/5,0/7,5 mm kontaktų žingsniais. Po sujungimo ji užima 30 % mažiau vietos nei ankstesni gaminiai, puikiai prisitaikydama prie laidų tiesimo reikalavimų aplink kamerą. Jos skylėto tipo jungtis beveik visiškai įterpta į kontaktų galvutę, todėl galima surinkti greta vienas kito neprarandant polių, o tai žymiai pagerina plokštės panaudojimą ir leidžia tvarkingai išdėstyti signalo ir maitinimo linijas netrukdant proceso dujų srauto laukui.
Tvirta apsauga nuo ekstremalių eksploatavimo sąlygų
PECVD procesai apima aukštą vakuumą, aukšto dažnio plazmą ir vibracijos aplinką, todėl jungčių patikimumui keliami griežti reikalavimai. „picoMAX®“ pasižymi stabilia konstrukcija, kurios atsparumas vibracijai siekia iki 12 g, todėl jungtys neatsilaisvina dėl aukšto dažnio vibracijos. Be to, jungtys turi apsaugą nuo neteisingo įdėjimo ir fiksavimo įtaisą, kurie pašalina montavimo klaidas ir apsaugo nuo atsitiktinio atjungimo, užtikrindami nepertraukiamą įrangos veikimą be prastovų.
Greitas prijungimas be įrankių
„picoMAX®“ pasižymi greito prijungimo technologija be įrankių, leidžiančia šalto presavimo jungtimis sujungti tiek viengyslius, tiek daugiagyslius laidus be jokių papildomų pastangų. Sudėtingi laidų sujungimai atliekami vienu žingsniu, o tai žymiai pagerina surinkimo efektyvumą ir sutrumpina derinimo ciklus. Modulinė konstrukcija suderinama su reflow litavimo procesais, todėl atitinka automatizuotos gamybos sąnaudų mažinimo poreikius. Ji taip pat apima visus PECVD jungčių scenarijus: 3,5 mm kontaktų žingsnis tinka 0,2–1,5 mm² signaliniams laidams, o 5,0/7,5 mm kontaktų žingsnis – 16 A maitinimo linijoms. Ji palaiko laidų jungimo prie plokštės ir per sieną metodus, suderinama su valdymo spintos ir ertmių laidais ir atitinka GB/T 5226.1 elektros saugos standartus, taip užtikrindama tvirtą apsaugą proceso stabilumui.
Puslaidininkių pramonėje, kur nanometrų lygio procesų tikslumas yra svarbiausias, patikimos jungtys garantuoja didelį našumą.WAGO„picoMAX®“, pasitelkdamas revoliucinę gaminio dizaino koncepciją, pasiekia „mažą dydį, didelį našumą“ kompaktiškame korpuse, teikdamas stabilius, efektyvius ir ilgaamžius PECVD įrangos jungčių sprendimus. Tai padeda puslaidininkių gamintojams įveikti tiksliųjų procesų jungčių iššūkius, užtikrinant kiekvieno lusto mikrometrų lygio tikslumą.
Įrašo laikas: 2026 m. kovo 13 d.